Кенжегулов Айдар Караулович

Статья: EFFECT OF MAGNETRON SPUTTERING MODES ON THE FORMATION AND COMPOSITION OF TiCN COATINGS

Авторы: Бахытулы Наурызбек, Мамаева Аксауле Алиповна, Кенжегулов Айдар Караулович, Паничкин Александр Владимирович

Выходные данные статьи

Выходные данные статьи: Бахытулы Н., Мамаева А.А., Кенжегулов А.К., Паничкин А.В. EFFECT OF MAGNETRON SPUTTERING MODES ON THE FORMATION AND COMPOSITION OF TiCN COATINGS // Интернаука: электрон. научн. журн. 2022. № 37(260). URL: https://internauka.org/journal/science/internauka/260 (дата обращения: 05.11.2024). DOI:10.32743/26870142.2022.37.260.345662

Журнал: Научный журнал «Интернаука» № 37(260)

Секция: 16. Технические науки

Статус статьи: Статья опубликована