Коротыш Иван Геннадьевич
Выходные данные статьи
Выходные данные статьи:
Коротыш И.Г. АНАЛИЗ КАЧЕСТВА МЕТАЛЛИЗАЦИИ В ИНТЕГРАЛЬНОЙ МИКРОСХЕМЕ (ИМС) С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРО-СКОПА С ФОКУСИРОВАННЫМ ИОННЫМ ПУЧКОМ FEI VERSA 3D / И.Г. Коротыш, Т.В. Петлицкая // Молодой исследователь: вызовы и перспективы: сб. ст. по материалам CXII Международной научно-практической конференции «Молодой исследователь: вызовы и перспективы». – № 12(112). – М., Изд. «Интернаука», 2019.
Конференция:
CXII международная научно-практическая конференция «Молодой исследователь: вызовы и перспективы»
Секция:
Секция 40. Нанотехнологии.
Статус статьи:
Статья опубликована
Выходные данные статьи
Выходные данные статьи:
Коротыш И.Г. АНАЛИЗ РАЗМЕРОВ КОНТАКТНЫХ СТОЛБИКОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИК-РОСХЕМ (ИМС) С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МИКРОСКОПА С ФОКУСИРОВАН-НЫМ ИОННЫМ ПУЧКОМ FEI VERSA 3D / И.Г. Коротыш, Т.В. Петлицкая // Молодой исследователь: вызовы и перспективы: сб. ст. по материалам CXII Международной научно-практической конференции «Молодой исследователь: вызовы и перспективы». – № 12(112). – М., Изд. «Интернаука», 2019.
Конференция:
CXII международная научно-практическая конференция «Молодой исследователь: вызовы и перспективы»
Секция:
Секция 40. Нанотехнологии.
Статус статьи:
Статья опубликована
