Щагин Анатолий Васильевич

Статья: БЕЗМАСОЧНАЯ ЛИТОГРАФИЯ: ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ, МЕТОДЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ

Авторы: Губин Дмитрий Александрович

Научный руководитель: Щагин Анатолий Васильевич

Выходные данные статьи
Выходные данные статьи: Губин Д.А. БЕЗМАСОЧНАЯ ЛИТОГРАФИЯ: ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ, МЕТОДЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ / Д.А. Губин // Молодой исследователь: вызовы и перспективы: сб. ст. по материалам CCCLXXXV Международной научно-практической конференции «Молодой исследователь: вызовы и перспективы». – № 47(385). – М., Изд. «Интернаука», 2024.
Секция: Секция 40. Нанотехнологии.
Статус статьи: Статья опубликована