Яковлев Илья Эдуардович
Выходные данные статьи
Выходные данные статьи:
Яковлев И.Э. КОРПУСИРОВАНИЕ МЭМС В СРЕДЕ ВЫСОКОГО ВАКУУМА С АКТИВАЦИЕЙ ГЕТТЕРА // Студенческий вестник: электрон. научн. журн. 2024. № 20(306). URL: https://studvestnik.ru/journal/stud/herald/306 (дата обращения: 22.11.2024).
Секция:
38. Машиностроение.
Статус статьи:
Статья опубликована