Яковлев Илья Эдуардович

Статья: КОРПУСИРОВАНИЕ МЭМС В СРЕДЕ ВЫСОКОГО ВАКУУМА С АКТИВАЦИЕЙ ГЕТТЕРА

Авторы: Яковлев Илья Эдуардович

Выходные данные статьи
Выходные данные статьи: Яковлев И.Э. КОРПУСИРОВАНИЕ МЭМС В СРЕДЕ ВЫСОКОГО ВАКУУМА С АКТИВАЦИЕЙ ГЕТТЕРА // Студенческий вестник: электрон. научн. журн. 2024. № 20(306). URL: https://studvestnik.ru/journal/stud/herald/306 (дата обращения: 05.07.2024).
Секция: 38. Машиностроение.
Статус статьи: Статья опубликована